NanoPWM驅(qū)動(dòng)器-代替線性驅(qū)動(dòng)器

利用ACS所有的NanoPWM技術(shù)，產(chǎn)品線PWM驅(qū)動(dòng)器提供的*極*的靜止抖動(dòng)和平滑的速度性能，相較于經(jīng)典的商業(yè)上可用的線性驅(qū)動(dòng)器。

ACS的NanoPWM驅(qū)動(dòng)器提供*好的運(yùn)動(dòng)性能（*保*的），減小安裝尺寸，減少熱耗散，和經(jīng)濟(jì)的價(jià)格。NanoPWM驅(qū)動(dòng)器是**極*驅(qū)動(dòng)器用于450MM和300MM晶圓制程平臺(tái)，也可以用于其他需要以平滑的速度和亞納米級(jí)抖動(dòng)的高速度和加速度的伺服控制應(yīng)用。

用一個(gè)Spilplus的控制器和NanoPWM驅(qū)動(dòng)器控制一個(gè)直線平臺(tái)，可以達(dá)到下面的性能：

*靜止抖動(dòng)好于0.3納米（機(jī)械平臺(tái)）

*跟隨誤差在速度100MM/秒時(shí)為10納米（氣浮平臺(tái)）

納米定位和高速度

當(dāng)需要高速度，納米定位的分辨率時(shí)，OEM廠家至今局限于昂貴的激光干涉儀反饋系統(tǒng)，用ACS的10MHZSpilplusSin-Cos編碼器差分器，控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)師現(xiàn)在有了經(jīng)濟(jì)的替換方案，用模擬量光學(xué)編碼器或者激光原理的超快編碼器就夠用了。

*精確和柔性的龍門(mén)控制

對(duì)于高精度龍門(mén)定位平臺(tái)，有兩個(gè)電機(jī)（每個(gè)有自己的反饋）被用來(lái)控制一個(gè)軸。ACS運(yùn)動(dòng)控制已經(jīng)開(kāi)發(fā)了獨(dú)特和有力的算法提供前所未有水準(zhǔn)的定位精確度，速度穩(wěn)定性，和整定時(shí)間。

龍門(mén)算法主要特征：                                      優(yōu)勢(shì)：

*帶解耦環(huán)的MIMO控制                                      *更高的帶寬

*縱向伺服環(huán)控制                                          *更好的穩(wěn)定性

*旋轉(zhuǎn)（偏擺）方向伺服環(huán)控制                               **小的軸相互干擾

*自動(dòng)力/編碼器調(diào)度作為橫梁軸位置的函數(shù)                    *調(diào)試簡(jiǎn)單

*偏擺角的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償                                        *可靠的操作

*剛性龍門(mén)和柔性龍門(mén)都適合

ACS

為性能設(shè)計(jì)的強(qiáng)大平臺(tái)

ACS強(qiáng)大的平臺(tái)由EtherCAT主站MPU(運(yùn)動(dòng)處理器）和在每個(gè)EtherCAT從站上的伺服處理器（SPil).MPU可以管理至多達(dá)64個(gè)同步軸的系統(tǒng)，執(zhí)行高水平任務(wù)，比如通訊ACSPL+和PLC編程，診斷1/o控制和軌跡的規(guī)劃。在每個(gè)節(jié)點(diǎn)上的SPil浮點(diǎn)處理器執(zhí)行時(shí)控制算法*多到4個(gè)軸，他們每個(gè)軸的采樣和刷新率都是20KHZ.

MPU可以修改和刷新SPil控制算法，插入激勵(lì)信號(hào)到控制對(duì)象并采樣實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，比如20KHZ的位置誤差。

ACS利用分布式處理器平臺(tái)已經(jīng)超過(guò)20年了。采用EtherCAT對(duì)來(lái)說(shuō)是很自然的演變。分布式系統(tǒng)遇到的所有邏輯和安全相關(guān)的問(wèn)題都在很久前解決（比如控制器，節(jié)點(diǎn)和通訊連接故障失效系統(tǒng)的響應(yīng)，MPU失效軸會(huì)發(fā)生什么問(wèn)題）。使ACS在當(dāng)今的工業(yè)中能夠提供*堅(jiān)固的EtherCAT控制解決方案。

高度集成，增加精確度和產(chǎn)量

性能取決于所有的器件-控制器，軟件，驅(qū)動(dòng)器，電源的內(nèi)部連接和支持工具。這些部件的每個(gè)部分在設(shè)計(jì)和優(yōu)化過(guò)程中為了成就一個(gè)目標(biāo)，增加你的機(jī)器的性能。完整的系統(tǒng)通過(guò)測(cè)試確保運(yùn)動(dòng)性能不處在將就的水平。